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而这玩意儿的制造工艺精度是1微米,也就是0。001毫米!
正在修理的这台光刻机,这东西不仅变形了,同时也磨损了。
显微镜什么的都是好的。
只要解决了对焦系统的精度问题,确保工作台的移动精度能达到,再把其他的一些非核心关键的电子部件更换,就能使用。
光刻机最重要的就是动作台部分,相当于芯片电路母版的样片在生产过程中装在光刻机上面,只要不出问题,就不会更换,不断地通过物理方法或化学方法把样片上的电路图复制到硅基片上。
其实就相当于胶卷底片,可以不断地洗出同样的照片。
掩膜版能否在规定的位置,决定了芯片所有电路的位置。
否则,这方面的制造要求也不会如此高。
粱老在工作的时候,跟之前老人形象完全不同,手中的动作稳,准,快。
这都是需要耗费时间的,一个拇指大的零件,从最开始表面还能看到铣刀加工痕迹或者比较粗的砂纸打磨痕迹都开始消失,再到最后,粱老把这零件放到玻璃板上面,开始用粗麻布进行抛光,在抛光的时候,依然不停地测量。
逐渐地,原本还是银白金属色的零件,开始反光,最后向着镜子表面发生变化,越来越亮,直到后面能照出人影。
这种手工能达到的程度,谢凯看过,所以不觉得震撼。
而其他没有见过的人,眼珠子都凸出来了。
仅仅这样一个零件,就花了粱老整整两个小时的时间!
“换03号零件。”粱老小心地用丝绸把玻璃上细微的灰尘擦掉,对着谢凯说道。
“休息一下吧,这都干了两个小时了。”谢凯有些心痛这老人,块七十了呢。
这种工作看起来强度很小,对于体力的消耗相当快,一直都得让精神处于高度集中的状态。
“这才多一会儿?调平机构的球座跟半球都得搞,那个需要的时间更多。”老头摇头。“不过把那个搞了,其他也没有多难的东西了,毕竟这东西关系到样片的调平,稍微偏差,投影的尺寸就会出问题。我们自己知道安排休息。”
谢凯没有再废话,直接把一个半球型的零件递给了老头。
重复之前的工作,一开始使用锉刀,然后砂纸,再然后则是布匹。
处理这个半球状的零件,粱老没有用任何测量工具,而是以光刻机上面原本就有的零件来不停地装,不停地修改某些地方。
这一次的时间很长,一直花了四个半小时,才让半球的表面呈现出镜子一样的光亮。
其他老头都是一样,都是靠着手中的锉刀,砂纸不停加工。
经过他们处理,各种零件跟原本691厂加工出来的完全是两码事。
“表面看起来比原装的还好,尺寸精度没有问题吧?”陈同安看着反光的各种零件,心中觉得完全不可思议。
不过这样的表面程度,只要有充足的时间,刚刚出徒的学徒工,也能加工出来。
尺寸精度,才是决定设备精度的。
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